關鍵尺寸|VeritySEM ® 10 關鍵尺寸 (CD) 量測,樓梯大小

重要外形尺寸（Critical Dimension, 卡帶）便是MEMS組裝過程中均比較極其重要的的術語，主要就指稱的的在發微

Technology VeritySEM® 10 卡帶-SEM 數目測系統專門用於直觀精確測量由其極其熒光 （EUV） 及新興低數值孔徑 （High-VT） EUV微影控制技術時所表述的的石墨模組的的關鍵性大小 critical probability）。 但此模塊為客戶提供了能技術領先業內的次關鍵尺寸nm激光束（eBEAM）求解

多數石墨部件之內花飾體積介乎 0.1um 至 >100um間，此類圖樣體積要精確調節在一。

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